Методами металлографии, электронной
микроскопии, электронографии и
рентгенографии исследованы структура и
фазовый состав вакуумных конденсатов
карбидов циркония, ниобия и титана,
диборидов титана и циркония. Установлено,
что испарение этих материалов в вакууме
(2…3) × 10[sup]-5[/sup]мм рт. ст. и последующая
конденсация со скоростями (0,1…2) мкм/мин не
сопровождается изменением фазового
состава. Наносимые на гладкие
диэлектрические подложки при (200…700) °С слои
обладают дисперсным поликристаллическим
строением и обнаруживают аксиальные
ориентации. В качестве исходных материалов
использовались порошки карбидов титана,
циркония и ниобия и диобридов титана и
циркония с составами, близкими к
стехиометрическим. Для выявления
особенностей морфологии пленок
тугоплавких соединений выполнены
электронно-микроскопические исследования,
из рассмотрения которых видно, что с
увеличением толщины пленки происходит
увеличение степени кристалличности. Пленки
толщиной 0,2 мкм имеют поверхность, на
которой при увеличении в 10[sup]3[/sup] раз
невозможно обнаружить какие-либо
кристаллические образования; с увеличением
толщины пленки до (0,6…0,98) мкм наблюдается
появление чрезвычайно мелких бугорков,
являющихся отдельными кристаллитами.