Методами металлографии, электронной микроскопии, электронографии и рентгенографии исследованы структура и фазовый состав вакуумных конденсатов карбидов циркония, ниобия и титана, диборидов титана и циркония. Установлено, что испарение этих материалов в вакууме (2…3) × 10[sup]-5[/sup]мм рт. ст. и последующая конденсация со скоростями (0,1…2) мкм/мин не сопровождается изменением фазового состава. Наносимые на гладкие диэлектрические подложки при (200…700) °С слои обладают дисперсным поликристаллическим строением и обнаруживают аксиальные ориентации. В качестве исходных материалов использовались порошки карбидов титана, циркония и ниобия и диобридов титана и циркония с составами, близкими к стехиометрическим. Для выявления особенностей морфологии пленок тугоплавких соединений выполнены электронно-микроскопические исследования, из рассмотрения которых видно, что с увеличением толщины пленки происходит увеличение степени кристалличности. Пленки толщиной 0,2 мкм имеют поверхность, на которой при увеличении в 10[sup]3[/sup] раз невозможно обнаружить какие-либо кристаллические образования; с увеличением толщины пленки до (0,6…0,98) мкм наблюдается появление чрезвычайно мелких бугорков, являющихся отдельными кристаллитами.