Для нанесения тонких и сверхтонких металлических защитных покрытий (пленок) применяют различные методы, включая вакуумное и вакуумно-термическое испарение. Вакуумно-термические методы подразделяются на лазерное, электронно-лучевое и «взрывное» испарение. Главная задача технологов — это обеспечить равномерность распределения толщины пленки на подложке, что является одним из основных ее параметров. Для получения требуемого состава пленок применяют метод микродозирования, именуемый «дискретным» или «взрывным» испарением. Процесс испарения и качество нанесенных пленок в значительной мере определяются типом и конструкцией испарителей, которые, как вариант, могут иметь резистивный или электронно-лучевой нагрев. Выбор типа испарителя зависит от вида испаряемого материала, его агрегатного состояния, температуры в процессе испарения и от ряда других факторов.