В отличие от микроэлектромеханических систем (МЭМС) и устройств для них, широко представленных на рынке и используемых в различных областях техники, устройства, произведенные по нанооптоэлектромеханическим (НОЭМС)технологиям, в лучшем случае, представлены в виде опытных лабораторных образцов или симуляционных моделей, которые предстоит воплотить в реальность. Материалом для изготовления НОЭМС-устройств служит кремний, графен или углеродные нанотрубки (УНТ). Примерами НОЭМС-устройств являются высокочастотные осцилляторы (до 10 ГГц), химические сенсоры, нанодвигатели и модуляторы. В источниках [1–3] описаны основные представления об элементах НОЭМС-устройств, в [4–6] приведены основы нанотехнологий и фотоники, [8–10] иллюстрируют конструкцию и применение устройств нанофотоники.
Цель статьи состоит в обобщении данных по устройствам оптоэлектроники и нанофотоники с целью последующего перехода от электронных компьютеров и систем к оптическим компьютерам и системам при замене электронов на фотоны.
Оптические МЭМС, часто называемые микрооптоэлектромеханическими системами (МОЭМС), вводят еще одну компоненту в МЭМС – оптическую. В ряду статических элементов МОЭМС можно выделить всевозможные оптические зеркала, линзы, призмы и светофильтры. Интегральные микрозеркала с электростатической активацией находят широкое применение в миниатюрных робототехнических системах (в качестве оптических ключей) и системах анализа и обработки изображений (для отклонения лазерного луча и/или светового потока).
Матрицы из микрозеркал являются основой оптико-электронных многовариантных переключающих коммутирующих систем, которые могут в широком диапазоне изменять оптические связи между входным комплексом волоконнооптических световодных каналов и соответствующим комплексом выходных световодных каналов. Такие устройства способны переключать и коммутировать большое число оптических каналов, при этом они могут осуществлять различные преобразования изображений. Подобные многоканальные микрозеркальные устройства могут быть использованы для разных целей, в т. ч. для кодирования и декодирования информации.