В статье описан процесс сухого травления,
рассмотрены различные методы и применение.
Данная работа полезна для специалистов,
которые занимаются обработкой
интегральных микросхем. Представлен поиск
новых решений в области технологии
травления и его особенности. Имеющиеся
сведения позволят в будущем создать новые
технологии сухого травления или оптимально
использовать уже известные методы.
В статье описан процесс сухого травления,
рассмотрены различные методы и применение.
Данная работа полезна для специалистов,
которые занимаются обработкой
интегральных микросхем. Представлен поиск
новых решений в области технологии
травления и его особенности. Имеющиеся
сведения позволят в будущем создать новые
технологии сухого травления или оптимально
использовать уже известные методы