В статье рассмотрены основные компоненты
интегральных микросхем: подложки,
транзисторов, проводников, изоляторов.
Подробно описаны технологии их
производства, включая фотолитографию,
травление, диффузию и имплантацию. В статье
уделено внимание химии процессов и
используемых материалов, а также
рассмотрены широкие области применения
интегральных схем в различных отраслях
промышленности. Статья предназначена для
технологов по производству электроники, а
также для студентов соответствующих
специальностей.
В статье рассмотрены основные компоненты
интегральных микросхем: подложки,
транзисторов, проводников, изоляторов.
Подробно описаны технологии их
производства, включая фотолитографию,
травление, диффузию и имплантацию. В статье
уделено внимание химии процессов и
используемых материалов, а также
рассмотрены широкие области применения
интегральных схем в различных отраслях
промышленности. Статья предназначена для
технологов по производству электроники, а
также для студентов соответствующих
специальностей.