Электрорадиоэлементы (ЭРЭ) — это компоненты электрических и радиоэлектронных устройств, которые выполняют различные функции, такие как генерация, усиление, преобразование и обработка сигналов. Они могут быть изготовлены с использованием различных технологий, таких как полупроводниковая технология, интегральная технология, плёночная технология, технология печатных плат и др. В данной статье рассмотрены основные технологии изготовления ЭРЭ.
Цель данной статьи — изучить и систематизировать современные технологии изготовления ЭРЭ, основные методы изготовления, провести анализ современных технологий и их применение, оценить эффективность различных методов производства и сформулировать рекомендации по оптимизации процессов изготовления ЭРЭ [1–5].
Полупроводник — это материал, обладающий свойствами как проводников, так и изоляторов. Кремний является основным полупроводником, используемым в электронике благодаря его зонной структуре и способности проводить электрический ток при определенных условиях [2]. Благодаря своим свойствам полупроводники используются для создания различных электронных компонентов, включая транзисторы и интегральные схемы [1, 4]. Полупроводниковая технология производства радиоэлементов является ключевым аспектом электронной промышленности, которая, как известно, развивается стремительными темпами и занимает лидирующие позиции в мировой экономике. Технология изготовления полупроводников включает в себя несколько этапов. Начинается с выращивания кристаллов кремния. Для этого используют метод Чохральского. Он заключается в получении (выращивании) монокристалла медленным вытягиванием его из расплава с помощью заранее полученного затравочного кристалла. Этот метод был предложен в 1916 г. польским химиком Чохральским Я. Затравку закрепляют на водоохлаждаемом стержне, опускают в расплав, а затем медленно вытягивают при непрерывном вращении стержня. Процесс проводят в вакууме или в атмосфере инертного газа в водоохлаждаемой кристаллизационной установке. Метод Чохральского позволяет задавать форму монокристалла и получать слитки необходимых размеров и геометрии, регулировать их качество (дефектность) путем изменения скоростей вращения и вытягивания затравки [5].