Перспективы современного приборостроения связаны с разработкой приборов, обладающих малыми массой, габаритами, низкими себестоимостью, энергопотреблением и достаточно высокой надежностью.
Наиболее динамично развивающимися микроэлектромеханическими устройствами (МЭМС) в настоящее время являются акселерометры и гироскопы. Микромеханические гироскопы (ММГ) являются наиболее сложными микроэлектромеханическими устройствами. ММГ применяются как в автомобильной промышленности, так и в различной цифровой электронике (фотоаппараты, мобильные телефоны, планшеты).
Задачи, возникающие при проектировании ММГ, требуют решения проблем механики, электроники, метрологии, технологии, материаловедения. В связи с этим, большое значение приобретает дальнейшее совершенствование процесса проектирования микромеханических устройств с использованием современных систем автоматизированного проектирования (САПР).
Для компьютерного проектирования микромеханических устройств существует ряд программных комплексов. Из них можно выделить CoventorWare, IntelliSuite, MEMSCAP Mems Pro [2, 3]. Данные программные продукты позволяют разработать необходимое МЭМС устройство в единой среде, но их стоимость доходит до нескольких миллионов рублей и требует ежегодного продления лицензии.
Поэтому возникает необходимость разработки САПР на основе использования нескольких программных продуктов, связанных между собой, при использовании которых проводятся необходимые исследования, моделирование и проектирование будущей модели ММГ.
САПР МЭМС базируются на итерационном процессе проектирования. Приближение к окончательному результату осуществляется путем многократного выполнения одной и той же последовательности процедур. Итерации могут охватывать как несколько операций, так и несколько этапов проектирования.
Целью данной работы является разработка САПР сенсора ММГ, структурная схема которой представлена на рис. 1.
САПР ММГ состоит из следующих подсистем: подсистема создания 3D-модели, подсистема анализа, подсистема автоматизированного выпуска конструкторской документации (КД), подсистема создания фотошаблонов.