По всем вопросам звоните:

+7 495 274-22-22

Нанотомографический метрологический комплекс

Нанотомографический метрологический комплекс (полезная модель) относится к растровой электронной микроскопии (РЭМ) и предназначен для целей электронной микротомографии слоистых наноструктур и «глубинной» метрологии толщин пленок и глубины их залегания, получения изображений отдельных тонких глубинных слоев исследуемого объекта в режиме регистрации отраженных электронов (ОЭ). Полезная модель адаптирована к стандартному растровому электронному микроскопу (РЭМ), снабженного детектором (ОЭ).

Пат. 155593 Российская Федерация, НАНОТОМОГРАФИЧЕСКИЙ МЕТРОЛОГИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС: [Текст] / Манцевич Владимир Николаевич (RU), Иванников Петр Валентинович (RU): патентообладатель: Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство образования и науки (RU) № 2014131193/28. Цель полезной модели — создание компактного, высоколокального прибора (приставка к РЭМ), расположенного непосредственно в вакуумной камере РЭМ под выходом первичного пучка электронов, использующего в своей работе ускоряющее напряжение в диапазоне от 1 до 30 кэВ и пригодного для визуализации отдельных слоев исследуемого объекта с многослойной структурой для диагностики и дефектоскопии. Нанотомографический комплекс содержит экранирующий корпус, снабженный выходной и входной диафрагмами, и размещенный внутри него тороидальный спектрометр, то есть аксиально-симметричную систему из двух электродов, один из которых заземлен, а другой подсоединен к источнику напряжения, внутренний заземленный электрод представляет собой соосную с электронным зондом растрового электронного микроскопа усеченную конусообразную сужающуюся к исследуемому объекту фигуру вращения с вогнутой боковой поверхностью, по оси которой выполнено сквозное отверстие для прохождения электронного зонда; внешний электрод также подсоединен к источнику высокого напряжения и представляет собой соосный с электронным зондом цилиндр, по оси которого выполнено отверстие, имеющее форму усеченной конусообразной сужающейся к исследуемому объекту фигуры вращения с вогнутой к оси боковой поверхностью. Таким образом, внешняя поверхность внутреннего электрода и внутренняя поверхность внешнего образуют канал, обеспечивающий фокусировку приосевой части потока ОЭ в соосное с электронным зондом кольцо, расположенное на противоположной по отношению к объекту поверхности корпуса нанотомографа. При этом и входная, и выходная диафрагмы выполнены в виде щелей кольцевой формы. 1 НП, 1 ИЛ.

Полезная модель — нанотомографическое метрологическое устройство (комплекс) относится к растровой электронной микроскопии (РЭМ) и предназначено для целей электронной микротомографии слоистых наноструктур и «глубинной» метрологии толщин пленок и глубины их залегания, получения изображений отдельных тонких глубинных слоев исследуемого объекта в режиме регистрации отраженных электронов (ОЭ). Полезная модель адаптирована к стандартному растровому электронному микроскопу (РЭМ), снабженному детектором (ОЭ).

Для Цитирования:
Нанотомографический метрологический комплекс. КИП и автоматика: обслуживание и ремонт. 2020;4.
Полная версия статьи доступна подписчикам журнала
Язык статьи:
Действия с выбранными: