Ионно-плазменные и лучевые технологии — одни из передовых и высокоточных областей обработки материалов, которые широко применяют в производстве прецизионных деталей. В условиях развития высоких технологий и увеличения требований к качеству и точности изделий, особенно в таких отраслях, как аэрокосмическая и авиационная промышленность, а также в микроэлектронике, актуальность изучения и внедрения данных технологий становится значимой [1–6]. Прецизионные детали, используемые в высокоточных устройствах, требуют не только высокой точности обработки, но и надежности, долговечности и устойчивости к внешним воздействиям. Ионно-плазменная обработка, как метод, использующий ионы и плазму для модификации поверхности материалов, обеспечивает высокую степень адгезии, улучшает физико-химические свойства и увеличивает срок службы изделий. Данная технология позволяет достигать точности обработки до десятой доли микрометра. В статье будет описан сравнительный анализ, где рассмотрены традиционные методы обработки и передовые технологии. Это позволит не только выявить их конкурентные преимущества, но и определить области, где они могут быть улучшены или заменены другими методами [1].
Ионно-плазменные и лучевые технологии имеют значительные преимущества при производстве прецизионных деталей, обеспечивая высокую точность и качество обработки. Основным принципом этих технологий является взаимодействие ионов и других энергетических частиц с поверхностью материалов, что позволяет изменять их физико-химические свойства и создавать наноразмерные структуры [2]. При лучевой технологии в вакуумной среде ионные частицы получают нужную энергию и направляются к обрабатываемой поверхности, что способствует созданию прочных и коррозионно-устойчивых покрытий.
Лучевые технологии, основанные на использовании концентрированных потоков энергии (лазерные, электронные и электронно-лучевые, ионные и ионно-лучевые), являются современными интенсивными технологиями [6]. Их применение позволяет получать совершенно новые эффекты и результаты, принципиально недостижимые при традиционных технологиях, или значительно повысить скорость и качество обработки (рис. 2).