Микроэлектромеханические системы представляют технологии и устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты разнообразных конструкций и назначений, которые обычно изготавливаются на основе кремния по отработанной технологии структурирования, разработанной для создания современных интегральных схем и изделий микроэлектроники [1]. Сфера применения МЭМС в последнее время очень обширна.
Наиболее востребованными являются датчики давления, акселерометры, микрофоны, датчики угловых скоростей (ДУСы), реле, ИК-болометры и т.п., которые нашли массовое применение в автомобильной технике, бытовых приборах, телекоммуникационных устройствах и изделиях, а также в военной, специальной, аэрокосмической и других отраслях.
Преимущество МЭМС по сравнению с аналогичными приборами – это малые массогабаритные размеры, достаточно высокие метрологические и эксплуатационные характеристики, малое энергопотребление и низкая стоимость. Недостатками МЭМС являются относительно большие составляющие шумового сигнала, случайный дрейф нуля и, для некоторых типов датчиков, зависимость точностных характеристик от температуры и линейных ускорений. Однако, несмотря на некоторые недостатки, МЭМС завоевали популярность во многих сферах применения, что привело к существенному увеличению объема производства МЭМС и их продаж.
На сегодняшний день более двух десятков иностранных компаний занимаются разработкой и полномасштабным производством МЭМС. Хорошо известными компаниями являются: Analog Devices, STMicroelectronics, Texas Instruments, Sony, Daisa Semiconductor, Silicon Sensing, Honeywell и т.д. В то же время разработками в области МЭМС и НЭМС занимаются все крупные микроэлектронные компании, ведущие университеты, многочисленные предприятия и исследовательские коллективы.
В России ведут научные исследования и разработки в данном направлении такие предприятия, как ОАО «Концерн “ЦНИИ “Электроприбор”», г. Санкт-Петербург; ОАО «РПКБ», г. Раменское; ОАО «СКТБ РТ», г. В.Новгород; ОАО «НИИФИ», г. Пенза; ОАО «АНПП “Темп-Авиа”», г. Арзамас; организации, расположенные в г. Зеленограде, где сосредоточена наибольшая концентрация технологических возможностей и оригинальных конструкторских решений в области МЭМС – МИЭТ, ГУ НПК «ТЦ МИЭТ», ОАО «ЗИТЦ», ОАО «Ангстрем» и т.д.